Picosuns PicoArmourTM senkt die Halbleiterherstellungskosten

ESPOO, Finnland, 2. Juni 2021 / PRNewswire / – Die Picosun Group hält ein Patent für eine ALD-aktivierte Korrosionsschutzlösung gegen Plasmaätzen, die Vorteile bei der Herstellung von Halbleiterprozessen in Bezug auf Durchsatz, Schichtgleichmäßigkeit und Konformität bietet. Mit PicoArmour^TM der Korrosionsschutz kann im Vergleich zu den heute üblichen Betriebslösungen effektiver erreicht werden.

Der Ablauf der Waferherstellung umfasst mehrere Schritte, bei denen Plasmaätzen erforderlich ist. Eine unvermeidliche Folge der Verwendung von Ätzchemikalien ist, dass die Werkzeuge selbst geätzt werden. Eine gängige industrielle Lösung zur Reduzierung der Werkzeugbeschädigung ist das Aufbringen einer korrosionsbeständigen Schicht auf das Ätzwerkzeug beispielsweise durch PVD- oder Spritzbeschichtung mit Y₂Ö_3. Im Vergleich zur Verwendung von nur Y₂Ö_3,PicoRüstung^TM macht die Herstellung der Schicht bis zu fünfmal schneller und kostengünstiger. Im Vergleich zu Al₂Ö₃, kann die Beschichtung fünfmal haltbarer sein. * Auch das Wartungsintervall von Ätzwerkzeugen kann verlängert werden, wodurch sich auch die Herstellungskosten deutlich reduzieren.

‚Picosuns Ansatz mit PicoArmour^TM besteht darin, das hoch ätzbeständige Y₂Ö₃ALD-Prozess mit robusteren ALD-Prozessen. Eine hochleistungsfähige ALD-Korrosionsbarriere, die die Geschwindigkeit und Einfachheit von Al . kombiniert₂Ö₃ Prozess mit der Haltbarkeit von Y₂Ö₃kann durch sorgfältige Kontrolle der Filmzusammensetzung erreicht werden. Bei ALD kann die Schutzwirkung mit dünneren Folien erreicht werden, was wiederum zu Materialeinsparungen und einem umweltfreundlicheren Verfahren führt. Juhana Kostamo, VP, Industriegebiet der Picosun-Gruppe.

Weitere Informationen zu PicoArmour^TM und eine von Picosun durchgeführte Studie zu Schutzabdeckungen gegen Plasmaschäden nimmt an der virtuellen ALD 2021-Konferenz am . teil 29. Juni durch 10:25 EDT. Hier registrieren.

* Werte abhängig von Abscheidungs- und Ätzparametern

Picosun bietet das fortschrittlichste AGILE ALD^® (Atomic Layer Deposition) Dünnschichtlösungslösungen für globale Industrien. Die ALD-Lösungen von Picosun ermöglichen technologische Sprünge in die Zukunft mit Schlüsselproduktionsprozessen und beispiellosem, bahnbrechendem Know-how auf diesem Gebiet – bis zur Erfindung der Technologie selbst. Heute, PICOSUN^® ALD-Geräte werden täglich in zahlreichen führenden Industrien auf der ganzen Welt hergestellt. Picosun basiert auf Finnland, mit Zweigen in Deutschland, USA, Singapur, Japan, Südkorea, China Festland und Taiwan, Büros in In dem und Frankreich, sowie ein globales Vertriebs- und Support-Netzwerk. Besuch www.picosun.com.